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激光共聚焦顯微鏡

簡要描述：激光共聚焦顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合，
能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。

  • 產品型號：OLS5100
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2024-01-30
  • 訪  問  量：1408
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激光共聚焦顯微鏡有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。
激光共聚焦顯微鏡高度測量原理

在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。根據非連續的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個像素的光強變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴展圖像）

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